Очень много нюансов которые надо уточнить-пояснить.
В каком помещении бани находятся протекающие полы (душевая, комната отдыха, парная, предбанник)?
Какая система канализация, что это трап в полу, или установлена душевая кабинка с поддоном (как вариант)?
Какие именно тёплые полы будут монтироваться (водяные, плёночные, инфракрасные, кабельные и так далее)?
На какую высоту можно поднять полы?
"Пирог" под полами "съест" сантиметров десять высоты помещения и это минимум.
И ещё множество вопросов которые требуют уточнения, включая вопрос о источнике горячей воды если речь о водяных тёплых полах.
Охватить все нюансы крайне проблематично.
Если трап в полу не забывайте об уклоне.
С деревяными полами можно поступить следующим образом:
1) Сделать "плавающую" стяжку по деревянным полам, в стяжку уложит трубы тёплого пола.
Но помните что сантиметр стяжки даст нагрузки в 100-о кг на квадрат, выдержат ли лаги?
Если всё плохо, вскрываем полы, меняем, или ремонтируем лаги.
Антисептирование.
Просушка.
Половую доску на место.
Демпферная лента по периметру.
Гидроизоляция плёночная с нахлёстом на стены.
Утеплитель.
Паро-изоляция.
Отражающий фольгированый слой.
Армирование.
Трубы тёплого пола.
Стяжка.
2) Всё же снимаем полы и демонтируем их.
Делаем стяжку по грунту.
Песок с трамбовкой.
Щебень.
Демпферная лента.
Армирование.
Стяжка не менее 5-и см.
Просушка.
Гидроизоляция.
Утеплитиель.
Паро-изоляция.
Фольгированая плёнка.
Армирование.
Трубы тёплогг пола.
Стяжка.