В общем-то можно,
но лучше использовать ОСБ плиты с приставкой "Эко",
в этих плитах как правило европейского производства, нет фенола, в этом случае используются полиуретановые смолы.
А вообще плиты OSB (ОСП по русски) это прочный (по прочности значительно превосходит ДСП и даже фанеру) трёхслойный материал из древесины хвойных пород, может использоваться даже во влажных помещениях OSB-3 к примеру, или OSB-4, эта плита выдержит даже значительные механические нагрузки.


Не до конца понятен "пирог", тёплый пол можно и на бетонное основание укладывать, не понятно что будет на ОСБ сверху тёплых полов.
Насчёт паро-изоляции, это смотря как давно делалась стяжка и какую плиту ОСБ будете использовать (см выше, есть плиты работающие даже во влажных помещениях).
Плита ОСП устойчива к различной бытовой "химии", плесени, грибка, просты в монтаже, то есть как материал для обустройства пола (и тёплого в том числе), подходящий вполне.