В начале осмотрите сам деревянный черновой пол, возможно понадобится антисептирование, возможно надо проверить лаги, половую доску и.т.д.
Вариантов гидроизоляции множество, но на мой взгляд в Вашем случае лучший вариант, это рулонная гидроизоляция.
Есть в продаже специальная битумно-полимерная самоклеящаяся плёнка (рулонная гидроизоляция).![][1]
Пылесосом убираем пыль с поверхности.
Далее покупаем битумный праймер и наносим его на полы равномерным слоем (можно валиком, а в местах стуков пола и стены, а так же в углах, праймер наносим кистью.
Далее (после просушки) клеим к поверхности ту самую плёнку (см. выше).
Плёнка укладывается (крепится) с нахлёстом на стены, не менее 20-и см.
Чаще в два слоя (или в один с нахлёстом на стыках), второй слой со смещением к первому.
Всё, дальше уже смотрите по месту, если под кафель будете делать стяжку, то стяжка должна быть "плавающей" то есть не контактировать жёстко со стенами и с поверхностью пола, древесина меняется в размерах.
Клей для плитки (любой) тоже влагостойкий, плюс фуга на финише и она влагостойкая.
Если нет желания использовать рулонную гидроизоляцию, можно купить обмазочную.
