Что касается материала, тот тут уже надо смотреть по месту.
Можно лагами плюс доски, можно лаги фанера, ДСП и так далее.
Есть специальные самовыравнивающиеся смеси для пола.
Но чаще всего полы выравнивают цементной стяжкой (цементно-песчаной).
Это не дорого, быстро и на годы.
Что бы всё сделать правильно необходимо знать несколько вещей.
"Пирог" выглядит так: Гидроизоляция, армирующая сетка, цементно-песчаный раствор.
Стяжка полностью высыхает не меньше чем за неделю (при слое в 4-5 см), это надо учитывать при дальнейшей работе с полами.


Если остановились на цементно-песчаной стяжке, то в первую очередь очищаем полы от пыли и грязи.
Следующий этап это грунтовка. Далее укладываем гидроизоляцию, причём с напуском на стены.
Следующий этап, укладываем армировавшую сетку.
Пришла очередь маяков.
Маяки можно сделать из профилей, из брусков, из раствора, в общем как удобно.
При установки маяков обязательно "пробиваем" ноль (работаем уровнем).
Теперь осталось приготовить правильный раствор.
Тут всё просто, 400-ый цемент, сеянный песок, пропорция 1 к 3, или даже 1 к 4-м.
Тщательно перемешиваем и заливаем раствор между маяками, затем протягиваем правИлом.
Через некоторое время вынимаем маяки и этим же раствором заполняем пустоты.
Я описал самую простенькую по исполнению стяжку.
Естественно при необходимости можно и плавающую стяжку устроить (звуко изоляция, теплоизоляция).
Можно под стяжкой обустроить тёплые полы.
Тут уже нужна конкретика.
Есть и готовые сухие смеси, но такая стяжка в разы обойдётся дороже.