Вариантов (что бы ходить, Вы об этом пишите), довольно много.
Можно уложить плиты ОСБ, можно фанеру, можно половую доску, можно вообще сделать стяжку, стяжка худший вариант, ибо она нагрузит перекрытие.
Между выбранным материалом и пенопластом лучше уложить полиэтиленовую плёнку, лучше внахлёст, стыки тщательно проклеить скотчем.
Пенопласт так же надо укладывать с особой тщательностью, необходимо избегать зазоров между плитами пенопласта.
При выборе материала, можно отталкиваться от того что будет у нас на финише.
Я бы посоветовал фанеру, если чердак не жилой, то можно взять фанеру ФСФ,
это фанера повышенной влагостойкости, не боится ни влажности, ни перепадов температур.
Если чердак жилой, то конечно лучше брать фанеру без фенолоформальдегидных смол.
Если фанера не влагостойкая, её лучше пропитать к примеру олифой.
На фанеру можно уложить практически любое финишное половое покрытие, включая кафель.