Утеплить укладывается под стяжку, а не неё, в ином случае придется заливать ещё одну стяжку, что может критически "опустить" потолки.
Но если так получилось, то убираем пыль и грязь, грунтуем с просушкой.
Далее укладываем рулонную гидроизоляцию с нахлестом на стены.
Затем монтаж утеплителя встык и без зазоров, в моем случае это был пенополистирол.
Утеплитель приклеивается к поверхности, я использовал клей Ceresit CT 85 (Церезит).
Сверху пароизоляция.
Затем по периметру помещения крепится демпферная лента.
Далее укладывается армирующая сетка, устанавливаются "маяки", и затем заливка стяжки, вот фото
для наглядности.
Раствор протягиваем ПравИлом, от маяка до маяка.
После полной просушки стяжки, ещё раз наносим грунтовку с просушкой и далее укладка финишного напольного материала.
Ещё вариант, утеплять не стяжку, а пол в целом, чтобы не грузить плиту перекрытия весом ещё одной стяжки, устанавливаем лаги, между лаг засыпаем керамзит, далее к лагам, крепится фанера.